[发明专利]紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪无效
| 申请号： | 201110346722.9 | 申请日： | 2011-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN102519920A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 邓文渊;金春水;靳京城;常艳贺 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64;G01J3/427 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 130033 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪涉及光学薄膜元件应用技术领域，包括：ArF激光激发模块、KrF激光激发模块、样品室、荧光探测模块和实验同步控制模块；ArF激光激发模块和KrF激光激发模块发射并传输激光，入射至样品室的样品表面，产生荧光；样品被激发所产生的荧光从样品室出射，入射至荧光探测模块进行光谱分光，并被光电探测器探测，将荧光信号转换成电信号，发送至实验同步控制模块。本发明采用ArF激光和KrF激光两种激光作为激发光源，提高了紫外与深紫外荧光光谱探测的灵敏度，可以满足紫外与深紫外波段光学薄膜弱荧光光谱测试需要。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 深紫 光学薄膜 元件 波长 激光 荧光 光谱仪 | ||
【主权项】：
紫外与深紫外光学薄膜元件双波长激光荧光光谱仪，其特征在于，该光谱仪包括：ArF激光激发模块、KrF激光激发模块、样品室、荧光探测模块和实验同步控制模块；所述ArF激光激发模块发射并传输ArF激光，入射至样品室；KrF激光激发模块发射并传输KrF激光，入射至样品室；所述激光激发光学薄膜样品产生荧光从样品室出射，入射至荧光探测模块后会聚，并将荧光信号转换成电信号，发送至实验同步控制模块。
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