[发明专利]一种太阳能电池硅片传输系统布局结构

摘要

一种太阳能电池硅片传输系统布局结构，其特征在于，在这种布局结构下，装片机械手(8)能够一次传输多片太阳能电池硅片进入靶室腔体，在靶台(9)上实现多个硅片的同时注入，在传输硅片的过程中，装片流程和卸片流程可同时进行，互不影响，使硅片传输效率最大化。本发明通过合理的机构布局，结合了皮带装置和机械手实现多个硅片的同时传输与注入，提高了太阳能电池硅片的生产效率。

主权项

一种太阳能电池硅片传输系统布局结构，包括进片片盒(1)、进片横向皮带装置(2)、进片纵向滚轴(3)、进片纵向皮带装置(40)、进片缓存(5)、片库装片机械手(6)、进片片库(7)、装片机械手(8)、靶台(9)、卸片机械手(10)、卸片转换台(11)、卸片机械手(12)、出片片库(13)、片库卸片机械手(14)、卸片缓存(15)、卸片纵向皮带装置(16)、卸片纵向滚轴(17)、卸片横向皮带装置(18)、卸片片盒(19)，其特征在于所述的进片横向皮带装置(2)在多个片盒(1)同时取片，通过进片纵向滚轴(3)和进片纵向皮带装置(4)的纵向运动能一次传输多个硅片等待在进片片库(5)外边，片库装片机械手(6)一次性装载多个电池硅片进入进片片库(7)。