[发明专利]用于带电粒子束系统的环境单元

摘要

本发明涉及用于带电粒子束系统的环境单元。一种用于带电粒子束系统的环境单元允许安装在X-Y镜台上的单元与聚焦镜筒的光轴之间的相对运动，从而消除了对单元内的子镜台的需要。诸如可缩回盖的柔性单元配置允许多种过程，包括束致和热致过程。在带电粒子束系统中且使用光电子的气体级联放大执行的光子产额光谱术允许分析单元中的材料并监视单元中的处理。还可以使用可缩回反射镜来执行发光分析。

主权项

一种带电粒子束系统，包括：带电粒子源；粒子光学镜筒，其用于产生聚焦粒子束并朝着样本指引所述束，粒子束光学镜筒具有光轴、可抽空样本室；位于可抽空室中的运动镜台，该运动镜台能够相对于光轴移动；单元，其用于包含用于处理的样本，该单元包括：    位于所述镜台上且能够随着镜台移动的单元的至少一部分；    用于向单元中引入气体的至少一个进气口；以及    在镜台的运动期间相对于粒子光学镜筒被固定的单元的至少一部分。