[发明专利]一种盘旋式金属间电容结构及其布局无效
| 申请号： | 201110349901.8 | 申请日： | 2011-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN102446896A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 张海芳;娄晓琪 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/522 | 分类号： | H01L23/522 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种交叉盘旋式金属电容结构及布局，金属层内的电极为平面螺旋结构，第一电极与第二电极呈中心对称排布。本发明金属层间电容结构的设计方案，还能够使电容具有螺旋式电感特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 盘旋 金属 电容 结构 及其 布局 | ||
【主权项】：
一种盘旋式金属电容结构，其特征在于，包括至少一个金属层，金属层内包括第一电极和第二电极，第一电极与第二电极形状相同并均呈平面螺旋结构；所述第一电极与第二电极中心对称排布；所述第一电极和第二电极之间填充有绝缘介电材料。
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