[发明专利]在低压力下进行等离子体感应涂覆的方法和设备有效
| 申请号： | 201110349945.0 | 申请日： | 2011-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN102477535A | 公开（公告）日： | 2012-05-30 |
| 发明（设计）人： | M·奥尔加德 | 申请（专利权）人： | 奥迪康有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/32 |
| 代理公司： | 北京金阙华进专利事务所(普通合伙) 11224 | 代理人： | 陈建春 |
| 地址： | 丹麦斯*** | 国省代码： | 丹麦;DK |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种在低压力下进行等离子体感应涂覆的方法和设备。所述方法包括步骤：提供具有表面的衬底；将包括1H，1H，2H，2H-全氟癸基丙烯酸酯的化合物蒸发到惰性气体流内；在蒸发到所述气体流内期间保持所述化合物恒温；将所述表面暴露给气体和化合物的混合物；将所述表面暴露给气体和化合物的混合物中产生的连续波等离子体，具有等离子体电路提供的等离子体功率。本发明具有涂覆效率高、涂层均匀的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 压力 进行 等离子体 感应 方法 设备 | ||
【主权项】：
在低压力下等离子体涂覆憎水和憎油聚合层的方法，所述方法包括步骤：‑提供具有表面的衬底；‑将包括1H，1H，2H，2H‑全氟癸基丙烯酸酯的化合物蒸发到惰性气体流内；‑在蒸发到所述气体流内期间保持所述化合物恒温；‑将所述表面暴露给气体和化合物的混合物；‑将所述表面暴露给气体和化合物的混合物中产生的连续波等离子体，具有等离子体电路提供的等离子体功率。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于奥迪康有限公司，未经奥迪康有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110349945.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于燃料电池车的燃料效率测量系统
- 下一篇：用于车辆的膝盖安全气囊
- 同类专利
- 专利分类
