[发明专利]一种退化石墨烯氧化物的电诱导还原方法无效
| 申请号： | 201110351180.4 | 申请日： | 2011-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN102502605A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 周鹏;孙清清;魏红强;张卫 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | C01B31/04 | 分类号： | C01B31/04 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 陆飞;盛志范 |
| 地址： | 200433 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属于碳基集成电路制造技术领域，具体涉及一种退化石墨烯氧化物的还原方法。本发明采用接触探针电诱导还原法对导电衬底上的石墨烯氧化物进行可控还原，通过控制导电原子力显微镜的探针所加电压来控制还原后石墨烯氧化物的成分从而控制还原后石墨烯氧化物的电阻率。利用导电接触探针对石墨烯氧化物进行还原是一种新颖的还原石墨烯氧化物的方法，它可以直接应用在纳米尺度的平面器件制备当中，大大简化了此种器件制备的复杂性。另外，该方法也可以作为石墨烯基电子器件的基本加工工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 退化 石墨 氧化物 诱导 还原 方法 | ||
【主权项】：
一种退化石墨烯氧化物的电诱导还原方法，其特征在于具体步骤为： 利用化学气相沉积方法在提供的高掺杂的硅片衬底上形成石墨烯层；将所述石墨烯层经过氧化处理形成石墨烯氧化物； 利用电压可控的纳米尺寸导电接触探针使得绝缘性的石墨烯氧化物还原为导电性的石墨烯，或者石墨烯与石墨烯氧化物的混合物。
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