[发明专利]玻璃管与MEMS芯片气密性烧结装置

摘要

本发明公开了一种玻璃管与MEMS芯片气密性烧结装置，它包括主体机座、加热炉体、升降调节件和升降压力调节手柄，截止阀和抽气连接件等。本发明的装置中，采用两个MEMS芯片与玻璃管烧结在一起，玻璃管与抽真空设备相连抽真空，让玻璃管与通过玻璃粉将两个MEMS芯片烧结在一起，形成真空微腔，解决了传统装置中的玻璃浆料烧结产生的有机气体释放于真空微腔中无法排除的问题，其真空度可达5×10-6Pa，并提高了高精度谐振型压力传感器产品的合格率。本发明适用于微机电系统制造中的谐振型压力传感器的封装工艺以及集成电路制造领域。

主权项

一种玻璃管与MEMS芯片气密性烧结装置，其特征在于：包括有主体机座(1)、加热炉体(2)、升降调节件(22)、升降压力调节手柄(23)和抽气连接件(15)，其中，加热炉体(2)和接线座(10)均固定在主体机座(1)上，隔热石棉板(3)水平位于加热炉体(2)内底部，石英船(6)底部连接有石英玻璃导管(4)，石英玻璃导管(4)位于隔热石棉板(3)上，石英船(6)放置于加热炉体(2)的中间，电炉丝(5)位于石英玻璃导管(4)内，电炉丝(5)的两头通过绝缘陶瓷(11)与接线座(10)连接，高温隔热石棉(12)填充石英船(6)四周，石墨板(7)位于石英船(6)内，双层陶瓷片(8)水平放置在石墨板(6)上，石英环(9)位于双层陶瓷片(8)中间，高温隔热石棉(12)填充加热炉体(2)内空隙，炉体盖板(13)加盖在加热炉体(2)上，主体机座(1)的立柱(14)上连接有固定手柄(21)、升降调节件(22)和抽气连接件(15)，抽气连接件位于加热炉体(2)的上部，抽气连接件(15)用卡环(20)O型密封圈(21)与截止阀(24)连接，在抽气连接件(15)上装有硅橡胶O型密封圈(16)、不锈钢垫圈(17)和玻璃管连接螺母(18)，升降压力调节手柄(23)和截止阀开关手柄(25)分别位于升降调节件(22)和截止阀(24)上。