[发明专利]蒸镀装置与有机薄膜的形成方法无效
| 申请号： | 201110353708.1 | 申请日： | 2011-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN103031519A | 公开（公告）日： | 2013-04-10 |
| 发明（设计）人： | 赖丰文;王仪龙;张均豪;陈泰宏 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种蒸镀装置与有机薄膜的形成方法。该蒸镀装置包括储气室、第一蒸发室、压力计、裂解室以及沉积室。第一蒸发室通过第一管路与储气室连接，其中第一管路具有第一阀门。压力计通过第二管路与储气室连接。裂解室通过第三管路与储气室连接，其中第三管路具有第二阀门。沉积室通过第四管路与裂解室连接。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 有机 薄膜 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种蒸镀装置，其特征在于包括：储气室；第一蒸发室，通过一第一管路与该储气室连接，其中该第一管路具有第一阀门；压力计，通过一第二管路与该储气室连接；裂解室，通过一第三管路与该储气室连接，其中该第三管路具有第二阀门；以及沉积室，通过一第四管路与该裂解室连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于财团法人工业技术研究院，未经财团法人工业技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110353708.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种以圆锥面密封的茶杯
- 下一篇：环形相框
- 同类专利
- 专利分类
