[发明专利]一种具有垂直磁各向异性的多层膜材料无效
申请号: | 201110354377.3 | 申请日: | 2011-11-10 |
公开(公告)号: | CN102364618A | 公开(公告)日: | 2012-02-29 |
发明(设计)人: | 刘涛;蔡建旺 | 申请(专利权)人: | 中国科学院物理研究所 |
主分类号: | H01F10/10 | 分类号: | H01F10/10;H01F10/12;H01F10/13;H01F10/20 |
代理公司: | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人: | 尹振启;马知非 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种具有垂直磁各向异性的多层膜材料,所述多层膜材料由下至上为:基片、核心缓冲层、非晶铁磁层和氧化物势垒层。本发明中的这种“CoFeB/MgO”界面垂直各向异性的多层膜材料,该材料通过将“Ta/CoFeB/MgO”结构中的Ta用Mo或Hf替换,使得体系的垂直磁各向异性能分别增大了大约22%和37%。而且对于“Mo/CoFeB/MgO”体系,热稳定性还大大增强,经过400℃两小时退火后其垂直各向异性能仍然稳定不变,从而应用价值得以提升,使该材料可应用到垂直磁隧道中。 | ||
搜索关键词: | 一种 具有 垂直 各向异性 多层 材料 | ||
【主权项】:
一种具有垂直磁各向异性的多层膜材料,其特征在于,所述多层膜材料由下至上为:基片、核心缓冲层、非晶铁磁层和氧化物势垒层。
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