[发明专利]一种三氯氢硅的精馏器无效
| 申请号： | 201110354946.4 | 申请日： | 2011-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN102502657A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 石汝军;张晓斐;潘志粉 | 申请（专利权）人： | 淄博高新区联创科技服务中心 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 255086 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种用于提纯三氯氢硅的精馏设备，属于三氯氢硅精馏提纯技术领域。该精馏设备包括七级精馏塔。该精馏设备包括预塔和3级三氯氢硅精馏塔、四氯化硅精馏塔、原料回收塔等。各级塔均为导向筛板塔，且在塔板上分别设有两级冷凝器。具有产能大。效率高、压降低、结构简单、造价低廉、抗堵能力强等优点，并且解决了用改良西门子法生产电子级多晶硅提纯技术存在的诸多缺点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三氯氢硅 精馏 | ||
【主权项】：
一种提纯三氯氢硅的精馏设备，其特征在于：包括预塔、三级三氯氢硅精馏塔和四氯氢硅精馏塔、原料回收塔等七级结构。
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