[发明专利]宽带离子束分析器有效
| 申请号： | 201110354972.7 | 申请日： | 2011-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN103107056A | 公开（公告）日： | 2013-05-15 |
| 发明（设计）人： | 彭立波;龙会跃;谢均宇 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/21 | 分类号： | H01J37/21;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;张彬 |
| 地址： | 101111 北京市中关村科技*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种宽带离子束分析器，用于从宽带离子束中分离出所需的离子，包括上磁极、下磁极、上励磁线圈、下励磁线圈、分析光栏和磁轭，其中：所述上磁极和下磁极均具有弧形的入射端边界和出射端边界；所述入射端边界和出射端边界的弧面半径都等于所述所需的离子在磁场中的偏转半径。本发明通过采用具有弧形入射端边界和出射端边界的上磁极和下磁极，且弧面半径都等于所述所需的离子在磁场中的偏转半径，使得宽带离子束中所需的离子能够在磁场中部理想聚焦，得到焦斑尺寸等于0的理想焦点，可以通过选取合适的最小的分析缝宽度而获得最佳的分析分辨率，实现宽带离子束中所需的离子与其他离子完全分离。 | ||
| 搜索关键词： | 宽带 离子束 分析器 | ||
【主权项】：
一种宽带离子束分析器，用于从宽带离子束中分离出所需的离子，其特征在于，包括上磁极、下磁极、上励磁线圈、下励磁线圈、分析光栏和磁轭，其中：所述上励磁线圈和下励磁线圈分别围绕所述上磁极和下磁极，所述上励磁线圈和下励磁线圈均与电源连接以在所述上磁极和下磁极之间的空间中产生均匀磁场，所述宽带离子束从所述均匀磁场的入射面射入，所述所需的离子在所述均匀磁场中偏转180°后从所述均匀磁场的出射面射出；对应于所述均匀磁场的入射面，所述上磁极和下磁极均具有弧形的入射端边界；对应于所述均匀磁场的出射面，所述上磁极和下磁极均具有弧形的出射端边界；所述入射端边界和出射端边界的弧面半径都等于所述所需的离子在所述均匀磁场中的偏转半径；所述上磁极和下磁极的入射端边界中心与出射端边界中心之间的距离都等于所述偏转半径的两倍；所述分析光栏用于选择性地使所述所需的离子通过，其设于所述上磁极和下磁极之间的空间中，所述分析光栏上带有分析缝，所述分析缝位于所述所需的离子在所述均匀磁场中聚焦处；所述磁轭围绕所述上磁极和下磁极设置。
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