[发明专利]一种具有热均匀性的热处理方法无效
| 申请号： | 201110355109.3 | 申请日： | 2011-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN102393601A | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 宋剑 | 申请（专利权）人： | 宋剑 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 221000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有热均匀性的热处理方法，属于热处理技术领域，具体步骤是：(1)基板表面疏水处理；(2)光阻旋转涂布至半导体基板表面；(3)预先烘烤；(4)冷却至室温；(5)远紫外线辐射照射曝光；(6)曝光后烘烤；(7)冷却至室温；(8)显影；(9)烘烤；有益效果是温度均匀，可进行长时间运行。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 均匀 热处理 方法 | ||
【主权项】：
一种具有热均匀性的热处理方法，借由热空气流动使加热过程均匀化，且调节排气的流量，控制排出该处理室内的气体流量，形成具有热均匀性的热处理装置，其特征在于所述的处理方法具体步骤是：(1)基板表面疏水处理；(2)光阻旋转涂布至半导体基板表面；(3)预先烘烤；(4)冷却至室温；(5)远紫外线辐射照射曝光；(6)曝光后烘烤；(7)冷却至室温；(8)显影；(9)烘烤。
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