[发明专利]表面感测设备有效
申请号: | 201110358458.0 | 申请日: | 2007-08-31 |
公开(公告)号: | CN102564306A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 戴维·斯文·瓦利亚塞;彼得·海杜基威兹;若弗雷·麦克法兰 | 申请(专利权)人: | 瑞尼斯豪公司 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 北京明和龙知识产权代理有限公司 11281 | 代理人: | 郁玉成 |
地址: | 英国格*** | 国省代码: | 英国;GB |
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摘要: | 描述了一种测量工件表面的装置。所述装置包括:支撑件(7),其可以连接到机器(26)的可移动臂,所述机器诸如坐标定位仪;所述支撑件可绕第一旋转轴线(1A)和第二旋转轴线(2A)旋转,所述轴线分别由第一马达(M1)和第二马达(M2)驱动。所述装置另外包括用于感测工件表面的表面感测设备(4),其可以围绕第三旋转轴线(4A)旋转。所述第三旋转轴线(4A)可与所述第一旋转轴线(1A)对准,并且在对准时且在所述表面感测设备(4)由保持件(70)保持静止时,所述支撑件(7)相对于所述表面感测设备(4)的旋转可以由所述第一马达(M1)促动。还描述了一种使用测量工件表面的装置的方法。 | ||
搜索关键词: | 表面 设备 | ||
【主权项】:
一种用于测量工件表面的装置,包括:支撑件;将所述支撑件连接到机器的可移动臂上的连接部件;用于感测工件表面的单向探头或表面抛光探头;所述支撑件具有第一构件和第二构件,第一构件被第一马达促动可以围绕第一旋转轴线相对于所述连接部件旋转,第二构件被第二马达促动可以围绕第二旋转轴线相对于所述第一构件旋转,其中所述第二旋转轴线横穿所述第一旋转轴线,且所述单向探头或表面抛光探头可以连接到所述第二构件从而与其一起旋转;其中设置一旋转部件,用于允许所述单向探头或表面抛光探头围绕第三旋转轴线相对于所述支撑件旋转;其特征在于,所述单向探头或表面抛光探头在横穿第三旋转轴线的方向上感测表面。
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