[发明专利]一种ITO陶瓷靶制备方法无效
申请号: | 201110360722.4 | 申请日: | 2011-11-15 |
公开(公告)号: | CN102491741A | 公开(公告)日: | 2012-06-13 |
发明(设计)人: | 张天舒 | 申请(专利权)人: | 张天舒 |
主分类号: | C04B35/453 | 分类号: | C04B35/453;C04B35/622 |
代理公司: | 合肥诚兴知识产权代理有限公司 34109 | 代理人: | 汤茂盛 |
地址: | 230022 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本发明的主要目的是提高一种ITO陶瓷靶制备方法。技术方案是:一种ITO陶瓷靶制备方法,其特征在于,包括操作:①以ITO粉为原料,与有机单体,胶联剂、有机分散剂和水制成悬浮液,并加入引发剂至所述悬浮液中反应得到混合浆料;②接着将所得的混合浆料注入模具中静置;③干燥脱模后在1200-1700℃下烧结该素坯,即得致密ITO陶瓷靶。本发明的处理方法存在的优点:可实现近净尺寸成型,制备出复杂形状的部件;坯体和烧结体性能均匀性好。ITO陶瓷靶产品晶粒大小分布均匀,约为3-5μm、高致密且烧结体密度为99.0%以上。 | ||
搜索关键词: | 一种 ito 陶瓷 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种ITO陶瓷靶制备方法,其特征在于,包括以下操作:①以ITO粉为原料,与有机单体,胶联剂、有机分散剂和水制成悬浮液,并加入引发剂至所述悬浮液中反应得到混合浆料;②接着将所得的混合浆料注入模具中静置;③干燥脱模后在1200‑1700℃下烧结该素坯,即得致密ITO陶瓷靶。
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