[发明专利]一种柔性电子器件的制作方法

摘要

本发明公开一种柔性电子器件的制作方法，其包括步骤：将一种有机溶液涂布在硬质基板上，通过真空烘烤，使有机溶液固化，在硬质基板表面形成表面平整、与基板紧密黏附的有机塑料薄膜；在有机塑料薄膜表面沉积一层绝缘薄膜并制作电子器件后，将薄膜与基板分离，获得柔性电子器件。本发明通过在硬质基板上形成平整的、紧密黏附的有机薄膜，可减少器件制作过程中因有机薄膜褶皱、与电子器件应力不匹配引起形变、热膨胀等问题，获得几何尺度均匀、性能稳定的柔性电子器件及阵列。本发明提出的方法可应用于柔性平板显示器件、柔性传感器件、柔性场致电子发射冷阴极的制作。

主权项

一种柔性电子器件的制作方法，其特征在于包括以下步骤：a)将一种有机溶液涂布在硬质基板上，通过烘烤，使有机溶液固化，在硬质基板表面形成表面平整、与基板紧密黏附的有机塑料薄膜；b)在上述有机塑料薄膜表面沉积一层绝缘薄膜并制作电子器件后，将薄膜与基板分离，获得柔性电子器件。