[发明专利]一种熔丝组件、熔丝组件制造方法及设备有效

专利信息
申请号: 201110362885.6 申请日: 2011-11-16
公开(公告)号: CN103117269A 公开(公告)日: 2013-05-22
发明(设计)人: 叶文正;杨帆 申请(专利权)人: 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
主分类号: H01L23/525 分类号: H01L23/525;H01L21/768
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 黄志华
地址: 100871 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种熔丝组件,用于提高金属熔丝的机械性能。所述熔丝组件包括:介质层,位于所述介质层上表面的一具有四个侧面的金属熔丝,所述金属熔丝按其宽度分为宽度为第一宽度值的第一部分及宽度为第二宽度值的第二部分,其特征在于,所述第一部分的上表面及所述四个侧面覆盖有保护层,所述第二部分位于一保护腔体中,位于所述第二部分上方的所述保护腔体上设置有一通孔。本发明还公开了所述熔丝组件的制造方法及设备。
搜索关键词: 一种 组件 制造 方法 设备
【主权项】:
一种熔丝组件,包括:介质层,位于所述介质层上表面的一具有四个侧面的金属熔丝,所述金属熔丝按其宽度分为宽度为第一宽度值的第一部分及宽度为第二宽度值的第二部分,其特征在于,所述第一部分的上表面及所述四个侧面覆盖有保护层,所述第二部分位于一保护腔体中,位于所述第二部分上方的所述保护腔体上设置有一通孔。
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