[发明专利]首颗晶粒的自动定位方法

摘要

本发明公开一种首颗晶粒的自动定位方法，其使用一移动式承载台、一影像撷取单元及一影像处理装置，所述移动式承载台自动步进移动一晶圆；所述影像撷取单元在所述晶圆上由一缺槽晶粒开始先沿X轴依序撷取预定格数的各晶粒影像，再沿Y轴依序撷取预定格数的各晶粒影像；所述影像处理装置则对各晶粒影像进行分析及座标定位，以便借此快速且准确地定位寻找出一首颗晶粒的正确位置，进而有利于提升定位首颗晶粒的准确性及加速定位作业。

主权项

一种首颗晶粒的自动定位方法，其特征在于：所述方法包含步骤：(S01)、将一晶圆固定在一移动式承载台上，其中所述晶圆包含数颗晶粒及数道切割沟槽，所述些晶粒的长宽尺寸小于10×10毫米，所述些晶粒中包含一缺槽晶粒d0；(S02)、使一影像撷取单元对位于所述晶圆的缺槽晶粒d0，利用所述影像撷取单元撷取所述缺槽晶粒d0的影像，及通过一影像处理装置进行影像分析并将所述缺槽晶粒d0的位置定义为座标位置(0,0)；(S03)、使所述移动式承载台及晶圆相对所述影像撷取单元沿X轴步进位移一格晶粒的距离，利用所述影像撷取单元撷取邻接在所述缺槽晶粒d0内侧的下一晶粒d1的影像，及通过所述影像处理装置进行影像分析并将所述晶粒d1的座标位置定义为(1,0)；(S04)、若沿X轴欲移动的晶粒总格数m等于1，则进行下一步骤(S05)；若沿X轴欲移动的晶粒总格数m为2或以上的整数，则以相似步骤(S03)的方式沿X轴依序撷取数颗晶粒d2…dm的影像，以便将所述些晶粒d2…dm的座标位置分别定义为(2,0)…(m,0)；(S05)、使所述移动式承载台及晶圆相对所述影像撷取单元沿Y轴步进位移一格晶粒的距离，利用所述影像撷取单元撷取邻接在所述晶粒dm旁侧的另一晶粒dm+1的影像，及通过所述影像处理装置进行影像分析并将所述晶粒dm+1的座标位置定义为(m,1)；(S06)、若沿Y轴欲移动的晶粒总格数n等于1，则进行下一步骤(S07)；若沿Y轴欲移动的晶粒总格数n为2或以上的整数，则以相似步骤(S05)的方式沿Y轴依序撷取数颗晶粒dm+2…dm+n的影像，以便将所述些晶粒dm+2…dm+n的座标位置分别定义为(m,2)…(m,n)；以及(S07)、将座标位置为(m,n)的所述晶粒dm+n定义为一首颗晶粒，并在所述首颗晶粒旁侧的二颗无效晶粒上分别标示一辅助定位记号。