[发明专利]快速控制静电吸盘温度的装置及方法有效
| 申请号： | 201110369759.3 | 申请日： | 2011-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN102509714A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 凯文皮尔斯 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种控制静电吸盘温度的装置，包括：中心区域与边缘区域各设置有热交换通道的静电吸盘；用于向中心区域的热交换通道供应冷却液的中心区域冷却液供应管道；用于向边缘区域的热交换通道供应冷却液的边缘区域冷却液供应管道；多个冷却装置；将上述多个冷却装置连接到中心区域和边缘区域的冷却液供应管道的切换装置或按比例切换装置，对应地，以选择性地将冷却装置中流过的冷却液全部供给中心区域的热交换通道或边缘区域的热交换通道，或按比例将冷却装置中流过的冷却液供给中心区域的热交换通道与边缘区域的热交换通道。本发明还提供一种控制静电吸盘温度的方法。采用本发明的技术方案，可以快度控制静电吸盘的温度。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 控制 静电 吸盘 温度 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种控制静电吸盘温度的装置，包括：静电吸盘，所述静电吸盘的中心区域与边缘区域各设置有热交换通道；中心区域冷却液供应管道，用于向中心区域的热交换通道供应冷却液；边缘区域冷却液供应管道，用于向边缘区域的热交换通道供应冷却液；其特征在于，所述控制静电吸盘温度的装置还包括多个冷却装置，所述多个冷却装置通过切换装置连接到所述中心区域和边缘区域的冷却液供应管道，通过切换装置的切换以选择性地将所述多个冷却装置与中心区域或边缘区域的冷却液供应管道相连通，使静电吸盘中热交换通道内的热量通过冷却液被带到冷却装置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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