[发明专利]用于多晶硅锭制备的组合坩埚无效
| 申请号： | 201110370450.6 | 申请日： | 2011-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN103122479A | 公开（公告）日： | 2013-05-29 |
| 发明（设计）人： | 李川川 | 申请（专利权）人： | 常州市万阳光伏有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人： | 张利强 |
| 地址： | 213115 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于多晶硅锭制备的组合坩埚，包括：石英坩埚和设置在石英坩埚外侧的石墨坩埚，所述石英坩埚包括石英坩埚基体、中间过渡层、第二中间层和内表面涂层，所述石英坩埚基体内壁设置有中间过渡层，所述中间过渡层上设有第二中间层，所述第二中间层上设有内表面涂层，所述石墨坩埚包括底板和设置在底板四周的侧板，所述底板具有网状结构。通过上述方式，本发明中石英坩埚内表面采用复合涂层，增强了涂层附着力，提高了石英坩埚抗高温能力，能够降低涂层材料成本，还能够确保在硅液从石英坩埚任何裂缝处溢出时，都能够及时引导硅液的流向，即引导硅液从底板的网络状结构的空隙处流下，从而能够及时报警。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 多晶 制备 组合 坩埚 | ||
【主权项】：
一种用于多晶硅锭制备的组合坩埚，其特征在于，包括：石英坩埚和设置在石英坩埚外侧的石墨坩埚，所述石英坩埚包括石英坩埚基体、中间过渡层、第二中间层和内表面涂层，所述石英坩埚基体内壁设置有中间过渡层，所述中间过渡层上设有第二中间层，所述第二中间层上设有内表面涂层，所述石墨坩埚包括底板和设置在底板四周的侧板，所述底板具有网状结构。
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