[发明专利]一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体

摘要

本发明公开了一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体，包含低阻硅基底、位于低阻硅基底之上的金属层、位于金属层之上的绝缘层、位于绝缘层之上的微开口环和电源引线、位于电源引线之上的锚点和位于锚点之上的微悬臂梁，其特征在于：微悬臂梁一端固定于锚点，且其中心线与微开口环的开口中心线重合；电源引线与微开口环开口边的对边重合。本发明的静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体不仅能够在太赫兹频段产生窄带超吸收，而且可以通过静电驱动微悬臂梁上、下运动来调节开口环开口处的介电常数，进而调节吸收峰的位置。本发明的静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体在太赫兹波段的超高灵敏度探测器和太赫兹波隐形领域具有十分重要的应用价值。

主权项

一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体，包含低阻硅基底(1)、位于低阻硅基底(1)之上的金属层(2)、位于金属层之上的绝缘层(3)、位于绝缘层(3)之上的微开口环(4)和电源引线(5)、位于电源引线(5)之上的锚点(6)和位于锚点(6)之上的微悬臂梁(7)，其特征在于：微悬臂梁(7)一端固定于锚点(6)，另一端位于微开口环(4)开口中央正上方，且微悬臂梁(7)的中心线与微开口环(4)的开口中心线重合；所述开口环(4)的开口边的对边与电源引线(5)的中部重合。