[发明专利]防止反溅射物质剥落的靶材及膜层的形成方法无效
| 申请号： | 201110374219.4 | 申请日： | 2011-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN102383100A | 公开（公告）日： | 2012-03-21 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;郑文翔 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种防止反溅射物质剥落的靶材和利用此靶材形成膜层的方法，所述靶材的边缘具有滚花区。本发明通过对靶材边缘进行滚花处理，增加其粗糙度，从而增加了反溅射物质在靶材上的粘附力，大大的减少了反溅射物质剥落的情况。并且实施简单，对现有的设备和技术不需要做任何改动，就可以达到良好的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 溅射 物质 剥落 形成 方法 | ||
【主权项】：
一种防止反溅射物质剥落的靶材，其特征在于，所述靶材的待溅射表面的边缘处具有滚花区。
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