[发明专利]一种微细电铸层填充程度在线监测装置及监测方法有效
| 申请号： | 201110374704.1 | 申请日： | 2011-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN102409389A | 公开（公告）日： | 2012-04-11 |
| 发明（设计）人： | 明平美;李松昭;王全才;王书卿;李广;商静瑜;吕文星;田二芳 | 申请（专利权）人： | 河南理工大学 |
| 主分类号： | C25D21/12 | 分类号： | C25D21/12;C25D1/00 |
| 代理公司： | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人： | 时立新 |
| 地址： | 454003 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微细电铸层填充程度在线监测装置，包括放置于电铸槽内阳极与阴极芯模之间的检测滚筒，检测滚筒连接监测电源的正极，电铸槽的阴极基板与电流表串联后连接监测电源的负极，通过检测滚筒所处位置的电流大小，在线判断阴极芯模相应位置处电铸层的填充程度，不需中止电铸过程就可以实时检测微细电铸的填充程度，提高了电铸效率与电铸质量，操作简便，经济实用，可以广泛应用于基于平面阴极芯模的微细电铸场合。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微细 电铸 填充 程度 在线 监测 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种微细电铸层填充程度在线监测装置，其特征在于：包括放置于电铸槽内阳极与阴极芯模之间的检测滚筒，检测滚筒连接监测电源的正极，电铸槽的阴极基板与电流表串联后连接监测电源的负极。
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