[发明专利]具有处理卷性电路板材料的等离子设备无效
| 申请号： | 201110375014.8 | 申请日： | 2011-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN102433535A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 丁雪苗;梁冠雄 | 申请（专利权）人： | 珠海宝丰堂电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22;C23C16/44;B29C59/14;H05H1/00 |
| 代理公司： | 广州市红荔专利代理有限公司 44214 | 代理人： | 王贤义 |
| 地址： | 519060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离子设备,旨在提供一种操作简单、节约成本、生产率高且能直接对卷性材料进行处理的具有处理卷性电路板材料的等离子设备。本发明包括机架（1）、设置于所述机架（1）内的真空腔体（2），在所述真空腔体（2）内设置有放料轴（3）、收料轴（4）、至少两对平行设置的正负电极（5）以及若干个导向轴，所述每个正电极与外围的射频电源电连接，所述每个负电极接地，在所述收料轴（4）的轴端上通过离合器（9）设置有伺服电机Ⅰ（6），卷性材料从所述放料轴（3）处放料，经导向轴从每对正负电极（5）之间穿过，最后收于所述收料轴（4）。本发明可广泛应用于等离子设备领域。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 处理 电路板 材料 等离子 设备 | ||
【主权项】：
一种具有处理卷性电路板材料的等离子设备，包括机架（1）、设置于所述机架（1）内的真空腔体（2），其特征在于：在所述真空腔体（2）内设置有放料轴（3）、收料轴（4）、至少两对平行设置的正负电极（5）以及若干个导向轴，所述每个正电极与外围的射频电源电连接，所述每个负电极接地，在所述收料轴（4）的轴端上通过离合器（9）设置有伺服电机Ⅰ（6），卷性材料从所述放料轴（3）处放料，经导向轴从每对正负电极（5）之间穿过，最后收于所述收料轴（4）。
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