[发明专利]用于透射显微镜和扫描显微镜的钼箔网及其制作方法有效
| 申请号： | 201110375138.6 | 申请日： | 2011-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN103137404A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 张继明;田连建 | 申请（专利权）人： | 北京新兴百瑞技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J9/00 |
| 代理公司： | 北京乾诚五洲知识产权代理有限责任公司 11042 | 代理人： | 付晓青;杨玉荣 |
| 地址： | 100080 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于透射显微镜和扫描显微镜的钼箔网，所述钼箔网的厚度为0.01mm～0.05mm，网孔的孔数为1目～600目。本发明制作该钼箔网的方法包括绘图、钼箔处理、光刻胶、前烘烤、曝光、显影、漂洗、后烘烤、刻蚀和去胶。通过本发明的制作方法得到的电子显微镜钼箔网的网孔清晰、孔壁极为光滑。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 透射 显微镜 扫描 钼箔网 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种用于透射显微镜和扫描显微镜的钼箔网，其特征在于，所述钼箔网的厚度为0.01mm～0.05mm，网孔的孔数为1目～600目。
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