[发明专利]一种微波辅助液相还原法制备硫化钐薄膜的方法

摘要

一种微波辅助液相还原法制备硫化钐薄膜的方法，将SmCl3·6H2O加入去离子水中得溶液A；向溶液A中加入柠檬酸得溶液B；向溶液B中加入硫代乙酰胺得溶液C；调节溶液C的pH值至9.0-12.0得溶液D；向溶液D中滴加水合肼得前驱液E；将功能化后的硅基板置于前驱液E中，将烧杯放入微波炉中，微波反应后在真空干燥箱中干得硫化钐纳米薄膜。由于本发明采用微波辅助液相还原法制备硫化钐薄膜，制得的硫化钐纳米薄膜，均匀，致密，低缺陷，强度高，并且通过控制前驱液浓度、pH值以及沉积时间可以控制薄膜厚度和晶粒大小。这种方法制备的硫化钐纳米薄膜重复性高，易于大面积制膜。且操作方便，原料易得，制备成本较低。

主权项

一种微波辅助液相还原法制备硫化钐薄膜的方法，其特征在于：1)取0.1‑2.0g的分析纯的SmCl3·6H2O置于烧杯中，向烧杯中加入20‑60mL的去离子水搅拌均匀得溶液A；2)向溶液A中加入0.01‑1.00g的柠檬酸，常温下磁力搅拌均匀得溶液B；3)向溶液B中加入0.01‑1.00g分析纯的硫代乙酰胺(C2H5NS)搅拌均匀得溶液C；4)用氢氧化钠调节溶液C的pH值至9.0‑12.0得溶液D；5)向溶液D中滴加1.0‑10.0mL质量浓度为85％的水合肼，搅拌均匀得前驱液E；6)将羟基化的硅基板置于体积浓度为1～3％的OTS(十八烷基三氯硅烷)的甲苯溶液中在室温下浸泡15～35min，取出后分别用丙酮、四氯化碳冲洗，然后用氮气吹干，在氮气气氛中，于110～120℃干燥15～30min得OTS硅基板；7)将OTS硅基板放在紫外线照射仪中，紫外光辐射波波长184.9nm，在一个大气压下，保持照射距离为1～3cm照射20～60min，使OTS头基的烷基在紫外光的光激发下进行羟基化转变，得到OTS功能化后的硅基板；8)将功能化后的硅基板置于前驱液E中，将烧杯放入微波炉中，在输出功率为500‑900W的微波下反应30～120min制备硫化钐薄膜，将制备好的薄膜置于真空干燥箱中于60～80℃干燥5～20min得硫化钐纳米薄膜。