[发明专利]生产多晶硅的方法无效
申请号: | 201110376882.8 | 申请日: | 2011-11-22 |
公开(公告)号: | CN102491338A | 公开(公告)日: | 2012-06-13 |
发明(设计)人: | 虞海盈 | 申请(专利权)人: | 虞海盈 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 315100 浙江省宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种生产多晶硅的方法,包括:将硅原料放入坩埚中,通过电子束熔化原料的顶部,形成熔融状态;在达到1500℃的熔融状态下保温,并加入造渣剂进行氧化造渣、去渣;将去渣后的硅熔液倒入容器中,并保温36小时凝固成锭;切除硅锭顶部,打磨四周、去除金属杂质,以得到低磷、低金属多晶硅锭。该法是一种适于大规模工业化、且同时达到高纯度、低成本、低污染、高效率的生产周期的多晶硅生产方法。 | ||
搜索关键词: | 生产 多晶 方法 | ||
【主权项】:
一种生产多晶硅的方法,其特征在于:包括步骤如下:将硅原料放入坩埚中,通过电子束熔化原料的顶部,形成熔融状态;在达到1500℃的熔融状态下保温,并加入造渣剂进行氧化造渣、去渣;将去渣后的硅熔液倒入容器中,并保温36小时凝固成锭;切除硅锭顶部,打磨四周、去除金属杂质,以得到低磷、低金属多晶硅锭。
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