[发明专利]在测试程序中自动检测探针卡接触特性的方法有效
| 申请号： | 201110376883.2 | 申请日： | 2011-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN103135022A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 辛吉升;谢晋春 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/01 | 分类号： | G01R31/01 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 高月红 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种测试程序中自动检测探针卡接触特性的方法，包括：1)在整个测试流程的开头部分，追加一个专用的检测接触特性模块；2)设定针压量从0μm开始，每个step增加1μm的扎针条件进行不断测试，通过测试程序的控制，对所有通道进行电流的印加，之后测试根据欧姆定律获得在该电流条件下的电阻值；3)获得不同扎针量条件下所有通道的电阻值；4)记录所有通道的电阻值第一次均小于M欧姆时的扎针量；5)使用该扎针量对该晶圆进行量产测试；6)后续的每枚晶圆的开头部分均重复步骤1)～5)，获得最佳的扎针量，对晶圆进行测试。本发明能减少人为的参与和调整，提高测试效率，减少因为接触特性不良而导致的芯片良率降低。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 程序 自动检测 探针 接触 特性 方法 | ||
【主权项】：
一种测试程序中自动检测探针卡接触特性的方法，其特征在于，包括：(1)在整个测试流程的开头部分，追加一个专用的检测接触特性模块，其中，该模块，用于定义待检测产品中所用到的所有测试通道，以及每个通道的印加电流值以及电压量测的精度和范围；(2)设定针压量从0μm开始，每步检测增加1μm的扎针条件进行不断测试，通过测试程序的控制，对所有通道进行电流的印加，并对印加电流之后产生的电压进行测量；(3)根据欧姆定律来获得不同扎针量条件下所有通道的电阻值；(4)检测接触特性模块记录所有通道的电阻值第一次均小于M欧姆时的扎针量；(5)使用该扎针量对该晶圆进行量产测试；(6)后续的每枚晶圆的开头部分均重复步骤(1)～(5)，获得最佳的扎针量，对晶圆进行量产测试。
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