[发明专利]正型光敏树脂组合物，使用其制备的光敏树脂膜，以及包括该光敏树脂膜的半导体器件无效
| 申请号： | 201110378325.X | 申请日： | 2011-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN102566275A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 李种和;赵显龙;任美罗;田桓承;郑闵鞠;郑知英;车明焕 | 申请（专利权）人： | 第一毛织株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;G03F7/016;H01L23/29 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李丙林;张英 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： |
本发明披露了一种正型光敏树脂组合物，包括(A)碱溶性树脂；(B)包括由化学式6表示的重复单元的酚醛树脂；(C)光敏性重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；和(E)溶剂，以及利用该正型光敏树脂制备的光敏树脂膜，和包括该光敏树脂膜的半导体器件。本发明的正型光敏树脂组合物具有优异的敏感度、可显影能力、膜残留率、和分辨率、以及较低的膜收缩比率。[化学式6] |
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| 搜索关键词： | 光敏 树脂 组合 使用 制备 以及 包括 半导体器件 | ||
【主权项】：
1.一种正型光敏树脂组合物，包括：(A)碱溶性树脂；(B)酚醛树脂，包括由以下化学式6表示的重复单元；(C)光敏性重氮醌化合物；(D)硅烷化合物；以及(E)溶剂，[化学式6]![]()
其中，在化学式6中，每个重复单元中的R7是相同的或不同的，并且各自独立地是取代的或未取代的C1至C20脂肪族有机基团，基于所述酚醛树脂中包括的重复单元中总量100mol％的R7，50mol％或更多的R7位于相对于羟基基团(OH)的间位。
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