[发明专利]一种加速CMP仿真的方法和装置有效
| 申请号： | 201110379986.4 | 申请日： | 2011-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN102508981A | 公开（公告）日： | 2012-06-20 |
| 发明（设计）人： | 陈岚;阮文彪;吴玉平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种加速CMP仿真的方法和装置。该加速CMP仿真的方法包括：步骤1，将物理版图划分为若干区域；步骤2，利用几何同构将所述若干区域内的图形划分为不同的几何同构序列；步骤3，选取几何同构序列中的一个区域内的图形进行CMP仿真；步骤4，根据仿真数据对几何同构序列中的其他区域内的图形进行复用。本发明通过物理版图区域划分、区域内图形几何同构、区域内的CMP仿真、区域CMP仿真数据的复用，以提高对全芯片的CMP仿真速度，缩短对全芯片的CMP仿真时间；以图形同构方式合并CMP仿真任务，基于图形同构对相同的物理版图CMP仿真任务进行一次计算，复用其CMP仿真结果，从而通过减少CMP仿真任务数量提高对全芯片的CMP仿真速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加速 cmp 仿真 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种加速CMP仿真的方法，其特征在于，包括：步骤1，将物理版图划分为若干区域；步骤2，利用几何同构将所述若干区域内的图形划分为不同的几何同构序列；步骤3，选取几何同构序列中的一个区域内的图形进行CMP仿真；步骤4，根据仿真数据对几何同构序列中的其他区域内的图形进行复用。
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