[发明专利]钨钛合金靶坯及靶材的制造方法有效
| 申请号： | 201110382822.7 | 申请日： | 2011-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN102400004A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;宋佳 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C22C1/04 | 分类号： | C22C1/04;C22C27/04;B22F3/16;C23C14/14;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 钨钛合金靶坯及靶材的制造方法，所述钨钛合金靶坯的制造方法包括：在模具中装入混合钨钛粉末；进行冷压成型工艺和真空热压烧结工艺，将所述模具中的钨钛粉末制成钨钛合金靶坯毛料，所述真空热压烧结工艺的参数为：真空度小于或等于100Pa，压力为20～30MPa、烧结温度为1300～1600℃，烧结时间为3～12h。本发明技术方案的钨钛合金靶坯的制造方法，获得的钨钛合金靶坯的微观结构均匀、致密度高、无裂纹符合半导体溅射用，且采用所述钨钛合金靶坯的制造方法获得钨钛合金靶坯的成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 钛合金 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种钨钛合金靶坯的制造方法，其特征在于，包括：在模具中装入混合钨钛粉末；进行冷压成型工艺和真空热压烧结工艺，将所述模具中的钨钛粉末制成钨钛合金靶坯毛料，所述真空热压烧结工艺的参数为：真空度小于或等于100Pa，压力为20～30MPa、烧结温度为1300～1600℃，烧结时间为3～12h。
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