[发明专利]镍靶坯及靶材的制造方法有效
| 申请号： | 201110383245.3 | 申请日： | 2011-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN102398035A | 公开（公告）日： | 2012-04-04 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;王学泽;袁海军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/16 | 分类号： | B22F3/16;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种镍靶坯及靶材的制造方法，所述镍靶坯的制造方法，包括：在模具中装入镍粉；进行冷压成型工艺和真空热压烧结工艺，将所述模具中的镍粉制成镍靶坯毛料，所述真空热压烧结工艺的参数为：真空度大于或等于2×10-3Pa，压力大于或等于30MPa、烧结温度为1000～1200℃，烧结时间为3～5h。本发明技术方案的镍靶坯的制造方法，工艺过程比较简单，可控性强，且成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 镍靶坯 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种镍靶坯的制造方法，其特征在于，包括：在模具中装入镍粉；进行冷压成型工艺和真空热压烧结工艺，将所述模具中的镍粉制成镍靶坯毛料，所述真空热压烧结工艺的参数为：真空度大于或等于2×10‑3Pa，压力大于或等于30MPa、烧结温度为1000～1200℃，烧结时间为3～5h。
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