[发明专利]非晶氧化铟锌/碳纳米管复合薄膜晶体管及其制备方法无效
| 申请号： | 201110385435.9 | 申请日： | 2011-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN102394242A | 公开（公告）日： | 2012-03-28 |
| 发明（设计）人： | 廖蕾;刘曰利;刘兴强;陈文;贺彪 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H01L29/24 | 分类号： | H01L29/24;H01L29/10;H01L29/786;H01L21/336 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 汪俊锋 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种非晶氧化铟锌/碳纳米管复合薄膜晶体管，以柔性氧化铟锌/碳纳米管复合薄膜为半导体沟道层，在复合薄膜中，碳纳米管和氧化铟锌的质量比在0.027%-2.74%之间。将碳纳米管加入到铟盐-锌盐复合胶体溶液中，制备出碳纳米管/铟盐-锌盐复合胶体溶液，利用旋涂工艺，制备出高性能氧化铟锌/碳纳米管复合薄膜，再经后续热退火、光刻、刻蚀、再光刻以及电极的蒸镀和剥离制备出高迁移率氧化铟锌/碳纳米管复合薄膜场效应晶体管。通过对一些工艺的优化，成功制备出高场效应迁移率的氧化铟锌/纳米管，并且具备极高的机械性能。本实验成本低廉，实验条件要求低，实验结果的可重复性高，且可实现大规模批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化 纳米 复合 薄膜晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种非晶氧化铟锌/碳纳米管复合薄膜晶体管，其特征在于，以柔性氧化铟锌/碳纳米管复合薄膜为半导体沟道层，在复合薄膜中，碳纳米管和氧化铟锌的质量比在0.027%‑2.74%之间。
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