[发明专利]基于柔性衬底的声表面波器件的结构及其制造方法无效
| 申请号： | 201110386108.5 | 申请日： | 2011-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN102420582A | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | 周剑;余德永;金浩;王德苗;冯斌 | 申请（专利权）人： | 浙江大学;浙江百士迪科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H3/08 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所 33213 | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于柔性衬底的声表面波（SurfaceAcousticWave，SAW）器件及其制备方法。该SAW器件包括：衬底、底电极层、压电层、顶电极层，工作区由底电极层、压电层、顶电极层构成，其特征在于，所述的底电极层的下方设置有柔性衬底，柔性衬底上设置有开口。该发明的特点是：①采用柔性衬底，获得的器件轻便，可以安装在曲面上，可以绕卷式（roll-to-roll）连续化生产，制造工艺简单、成本低廉；②对柔性衬底进行背面体深刻蚀，形成开口，使得声波以板波的形式在压电层中传播，可以获得高谐振频率，同时将声波能量限制在工作区中可以获得高的器件Q值，此外，板波模式谐振器在应用于液体传感器时，不会因为能量辐射到液体中而导致Q值的下降。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 柔性 衬底 表面波 器件 结构 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种基于柔性衬底的声表面波器件结构，包括：衬底、底电极层、压电层、顶电极层，工作区由底电极层、压电层、顶电极层构成，其特征在于，所述的底电极层的下方设置有柔性衬底，柔性衬底上设置有开口。
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