[发明专利]涂布显影装置无效
| 申请号： | 201110386760.7 | 申请日： | 2011-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN102445840A | 公开（公告）日： | 2012-05-09 |
| 发明（设计）人： | 何伟明;邢精成 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/16;G03F7/36 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种涂布显影装置，包括机械手臂、悬挂架和若干涂布喷嘴，所述悬挂架的一端可旋转的设于所述机械手臂上，所述悬挂架的另一端设有圆环形的安装槽，所述若干涂布喷嘴包括嘴头和相对于嘴头的底端，所述若干涂布喷嘴的底端与所述安装槽连接。本发明的涂布显影装置结构简单，制作方便，使用和安装均较为简便。可以减少因涂布喷嘴切换和移动带来的出货量损耗，以降低单位时间的制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 显影 装置 | ||
【主权项】：
一种涂布显影装置，其特征在于，包括机械手臂、悬挂架和若干涂布喷嘴，所述悬挂架的一端可旋转的设于所述机械手臂上，所述悬挂架的另一端设有圆环形的安装槽，所述若干涂布喷嘴包括嘴头和相对于嘴头的底端，所述若干涂布喷嘴的底端与所述安装槽连接。
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