[发明专利]一种低温等离子体温度传感装置有效
| 申请号： | 201110386783.8 | 申请日： | 2011-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN102538996A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 李程;张瑜;杨渝书 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01K7/02 | 分类号： | G01K7/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 王敏杰 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种低温等离子体温度传感装置。本发明一种低温等离子体温度传感装置，通过采用热电偶为温度传感器，并在其外壳外部设置保护层和抗干扰层，能够实时准确的获取低温等离子体内部的温度分布数据，且具有多点侦测、精度高但无杂质引入、低流动干扰等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 低温 等离子体 温度 传感 装置 | ||
【主权项】：
一种低温等离子体温度传感装置，包括一等离子体发生腔体，其特征在于，还包括：一温度传感器设置于等离子体发生腔体内，以用于侦测等离子体内部的温度；其中，该探测传感器的外部设置有保护层，一抗干扰层覆盖所述保护层。
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