[发明专利]掩膜板缺陷检测装置无效
| 申请号： | 201110387737.X | 申请日： | 2011-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN102519968A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 朱骏;张旭昇 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 吴世华;张龙哺 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种掩膜板缺陷检测装置，包括：光源投射装置，包括光源和透镜，该光源用于发出光束并经透镜投射到掩膜板上；检测系统，包括多个光强检测器，用于测算掩膜板对该光束的反射率和透射率中的至少一个，并与预先建立的检测基准作比较。采用这种结构的掩膜板缺陷检测装置可以快速有效地检测掩膜板上的haze缺陷及细微有机物污染。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 缺陷 检测 装置 | ||
【主权项】：
一种掩膜板缺陷检测装置，包括：光源投射装置，包括光源和透镜，该光源用于发出光束并经透镜投射到掩膜板上；检测系统，包括多个光强检测器，用于测算掩膜板对该光束的反射率和透射率中的至少一个，并与预先建立的检测基准作比较。
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