[发明专利]基于虚拟仪器的注入机控制系统有效
| 申请号： | 201110391317.9 | 申请日： | 2011-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN103135509A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 王蒙;李勇滔;赵章琰;李超波;夏洋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G05B19/418 | 分类号： | G05B19/418;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于虚拟仪器的注入机控制系统包括注入机电源系统、设置有注入机控制软件的上位机、反应腔室、预抽腔室。本发明提供的基于虚拟仪器的注入机控制系统信号采集系统整合度高，为控制提供了牢靠的外界条件，结构简单，可用于大面积的离子注入。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 虚拟仪器 注入 控制系统 | ||
【主权项】：
一种基于虚拟仪器的注入机控制系统，其特征在于，包括：注入机电源系统、设置有注入机控制软件的上位机、反应腔室、预抽腔室；所述上位机通过一数字输出控制器控制设置在反应腔室和预抽腔室之间的真空阀门完成反应腔室和预抽腔室的隔离，并通过所述数字输出控制器在所述反应腔室和预抽腔室的气压达到所述真空门阀开启要求时，控制一门阀机械手将硅片穿过所述预抽腔室送达所述反应腔室，并放置在所述反应腔室内设置的一下电极，并控制所述下电极的位置；在反应完成后，控制所述门阀机械手将硅片取回至预抽腔室；所述上位机通过一串口服务器控制设置在所述反应腔室的分子泵和调压阀，使得反应腔室达到高真空度，及在反应完成后，控制所述分子泵使反应腔室回归至低真空度。
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