[发明专利]超薄面板制造系统有效
| 申请号： | 201110391330.4 | 申请日： | 2011-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN102674698A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 黄龙云;姜东昊 | 申请（专利权）人： | 诺发光电股份有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 韩明星;金光军 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明涉及一种将诸如显示面板的面板蚀刻为超薄板的技术，用于使大面积面板具有良好的表面粗糙度、厚度均匀性、透明性，同时适于生产。本发明提供一种超薄面板制造系统，在碱性溶液中初步洗涤显示面板，将16μm/分作为蚀刻速度的上限，以下降流方式进行蚀刻，以使具有良好的表面粗糙度，最终洗涤之后用影像检查表面，以非接触方式检查厚度，为了弥补脆弱性附着保护薄膜，然后进行后续的工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 超薄 面板 制造 系统 | ||
【主权项】：
一种超薄面板制造系统，其特征在于，包含如下步骤：在碱性溶液中初步洗涤显示面板；竖直地放置完成所述初步洗涤的显示面板，使包含F+离子的蚀刻溶液流过，以进行使厚度变薄的蚀刻；最终洗涤完成所述蚀刻的显示面板；检查完成所述最终洗涤的显示面板的表面；测量完成所述表面检查的显示面板的厚度；以及在完成所述厚度测量的显示面板上附着保护薄膜，其中，所述蚀刻步骤中，控制显示面板的厚度蚀刻速度，用以控制表面粗糙度。
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