[发明专利]一种硅片多线切割张力控制系统及控制方法无效
| 申请号： | 201110391499.X | 申请日： | 2011-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN102555093A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 王学军;吴旭 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | B28D7/00 | 分类号： | B28D7/00;B28D5/04 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 张杰 |
| 地址： | 065201 河北省廊坊*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种硅片多线切割张力控制系统及控制方法。该系统包括张力检测控制装置和张力调整装置；张力检测控制装置包括由主控计算机和模拟量I/O采集卡构成的张力检测控制主单元和与张力检测控制主单元连接的左、右张力检测装置、放线信号端子、收线信号端子。所述硅片多线切割张力控制的方法为利用多线切割张力控制系统进行检测控制，其步骤为：向收线轮和放线轮信号端子施加信号电压；检测张力信号是否达到设定张力，否则返回步骤1；如果张力达到设定值，则启动线轮旋转；检测张力信号变化，同时驱动张力调整单元进行张力调整。本发明实现了通过计算机程序化控制，而使切割线张力波动减小，大大提高多线切割张力控制的准确性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 切割 张力 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种硅片多线切割张力控制系统，其特征在于该系统包括张力检测控制装置和张力调整装置：张力检测控制装置包括由主控计算机和模拟量I/O采集卡构成的张力检测控制主单元和与张力检测控制主单元连接的左、右张力检测装置、放线信号端子、收线信号端子；所述放线信号端子设置于放线轮连接放线轮电机，收线信号端子设置于收线轮连接收线电机，所述收、放信号端子分别连接张力检测控制主单元的相应端口；左、右张力检测装置分别设置于放线轮和收线轮上方，其中左张力检测装置检测从放线轮出来之后的切割线张力变化、右张力检测装置检测切割线到收线轮之前张力变化，所述左、右张力检测装置分别连接张力检测控制主单元的相应端口；所述张力调整装置设为左、右张力调整装置，分别设置在左、右张力检测装置的内侧，且分别和张力检测控制主单元的相应端口连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第四十五研究所，未经中国电子科技集团公司第四十五研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110391499.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
