[发明专利]一种微细电铸装置

摘要

本发明公开了一种微细电铸装置，包括电铸槽、阳极单元、阴极单元、箱体、进液口及出液口，电铸槽设于箱体内上部，电铸槽为圆筒状，电铸槽上部设有中空圆柱状进液轴，进液轴与动力装置连接，进液轴上端为进液口；阳极单元包括阳极和辅助阳极；所述阴极单元包括承片台，承片台上设有芯模，芯模与辅助阳极对应设置；所述阴极单元下端连接有阴极往复运动单元。本发明的阴极往复运动单元能带动承片台振荡，提高沉积面附近的传质效果；辅助阳极下表面与芯模上表面在微细电铸进行阶段紧密贴合，最大限度保证微细电铸过程中沉积面的电流密度均匀分布；辅助阳极可随进液轴旋转，确保理想的传质空间，能获得厚度均匀的微电铸件。

主权项

一种微细电铸装置，包括电铸槽、阳极单元、阴极单元、箱体、进液口及出液口，其特征在于，所述电铸槽设于箱体内上部，电铸槽为圆筒状，电铸槽上部设有中空圆柱状进液轴，进液轴与动力装置连接，在动力装置带动下，进液轴带动电铸槽作旋转运动，进液轴上端为进液口；所述阳极单元包括设于电铸槽内的阳极以及与电铸槽下端部固定连接的辅助阳极；所述阴极单元包括承片台，承片台上设有芯模，芯模与辅助阳极对应设置；所述阴极单元下端连接有阴极往复运动单元。