[发明专利]大气压下开放式单极射频低温等离子体发生装置无效
| 申请号： | 201110393752.5 | 申请日： | 2011-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN102573264A | 公开（公告）日： | 2012-07-11 |
| 发明（设计）人： | 李兵;王超;姜涛;蒋勋;赵会娜 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 大气压下开放式单极射频低温等离子体发生装置，包括依次相连的射频电源、双向功率表、阻抗匹配网络和电极接头，金属电极安装在电极接头上，金属电极采用单放电端电极或者多放电端电极，且金属电极为圆柱形电极，金属电极分为绝缘部分和放电部分，在金属电极的末端设置有气体供给系统。由于普通的等离子体放电采用的双极放电机构，其空间结构固定，作用于待处理物时因为结构固定有一定的缺陷。而本发明采用的单极放电结构能很好的规避这种缺陷，它是以周围物体作为对应的电极，从而产生等离子体作用于待处理物。 | ||
| 搜索关键词： | 大气 压下 开放式 单极 射频 低温 等离子体 发生 装置 | ||
【主权项】：
大气压下开放式单极射频低温等离子体发生装置，其特征在于：包括依次相连的用于提供射频功率输出的射频电源(1)、测量并显示前向和反射功率的双向功率表(2)、实现整个系统阻抗匹配的阻抗匹配网络(3)和电极接头(4)，金属电极(5)安装在电极接头(4)上，金属电极(5)采用单放电端电极或者多放电端电极，且金属电极为圆柱形电极，其直径为0.2mm～1.5mm，金属电极分为绝缘部分(5‑1)和放电部分(5‑2)，在金属电极(5)的末端设置有气体供给系统，放电部分绝缘部分(5‑1)外周涂有绝缘涂层，绝缘涂层的厚度为0.01mm～0.1mm，放电部分(5‑2)裸漏在空气中，发生放电产生等离子体，所产生等离子体围绕着电极呈圆柱状。
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