[发明专利]一种封闭式微流控通道刻蚀方法与自动刻蚀装置

摘要

本发明公开一种封闭式微流控通道刻蚀方法与自动刻蚀装置，封闭式机箱中设有待刻蚀微流控芯片、芯片槽、温度控制箱、相同的三个微型针探底注入式结构以及相同的三个针管推拉式结构；三个针管推拉式结构内部分别装有硫酸与铬酸混合的蚀刻液、15%的清硫酸、水且输出管道通过同一个三通管与三个微型针探底注入式结构相连，三个微型针探底注入式结构与待刻蚀微流控芯片的三个接口进行对接，微型针探底注入式结构包括外部套有外部滑套的滑动套针，滑动套针的顶端是微型针头、尾端与储液小车前部相连接；采用封闭式蚀刻方法直接封闭蚀刻出微通道管路，每次注射蚀刻时可将蚀刻液进行反复抽吸，实现了整个蚀刻过程的全自动。

主权项

一种封闭式微流控通道刻蚀方法，其特征是具有如下步骤：1）将微流控芯片（10）放入芯片槽（9）正中心，打开封闭式机箱（1）内的温度控制箱（2）使温度保持在50℃，同时驱动三个微型针探底注入式结构的三个驱动电机正转，当三个驱动电机出现堵转时均停转；2）驱动第一针管推拉式结构（6）的驱动电机正转，第一针管推拉式结构（6）内部的硫酸与铬酸混合的蚀刻液经三通管（36）分别被压入三个微型针探底注入式结构中，并均通过滑动套针注入到待蚀刻位置蚀刻；当传感器（35）检测到蚀刻液从废液出口（34）流出时，第一针管推拉式结构（6）的驱动电机反转，将蚀刻液吸回；如此过程进行三次；3）驱动第三针管推拉式结构（8）的驱动电机正转，第三针管推拉式结构（8）内部的水经三通管（36）分别被压入三个微型针探底注入式结构中，并均通过滑动套针注入到待蚀刻位置清洗，然后第三针管推拉式结构（8）的驱动电机反转，将清水蚀刻液吸回，如此过程进行三次；4）驱动第二针管推拉式结构（7）的驱动电机正转，第二针管推拉式结构（7）内部的15%的清硫酸经三通管（36）分别被压入三个微型针探底注入式结构中，并均通过滑动套针注入到待蚀刻位置，去除氧化膜；然后第二针管推拉式结构（7）的驱动电机反转，将清水蚀刻液吸回，如此过程进行三次；5）驱动三个驱动电机正转，使得三个微型针探底注入式结构的滑动套针继续深入达到待蚀刻处；当三个驱动电机均出现堵转且堵转时间不超过一分钟，则三个微型针探底注入式结构的滑动套针已达到待蚀刻处；6）重复步骤2‑5），当堵转时间超过一分钟，蚀刻完毕，保持第三驱动针管推拉式结构（8）的驱动电机正转，对蚀刻好出的微通道进行清洗。