[发明专利]用于分区清洗锯切的晶圆的保持/清洗装置及方法

摘要

本发明涉及用于通过锯切从块产生的平整衬底的组合的保持与清洗的装置和用于其的方法。根据本发明的装置用于保持将被锯切的衬底块(13A、13B)和用于冲洗通过锯切衬底块(13A、13B)形成的中间空间。它包括与装置纵轴(L)平行布置和彼此叠置的两个区域，上区域被配置成接装区域(1)，装置能够通过接装区域连接至机械仪器，下区域形成为保持区域(2)，保持区域(2)包括四周封闭或可封闭的通道系统，能够通过可封闭的供应口(5)将冲洗液供应给通道系统，通道系统的底部在衬底块(13A、13B)的锯切期间以槽型方式开放以提供用于冲洗液的通道口(15)。根据本发明用于冲洗通过锯切衬底块(13A、13B)形成的中间空间的方法，其特征在于使用如上所述的装置。

主权项

用于保持将被锯切的衬底块(13A、13B)和用于冲洗通过锯切所述衬底块(13A、13B)形成的中间空间的装置，所述装置具有与所述装置纵轴(L)平行地布置且彼此叠置的两个区域，上区域被配置成接装区域(1)，所述装置能够通过所述接装区域(1)连接至机械仪器，下区域形成为保持区域(2)，所述保持区域(2)包括四周封闭或可封闭的通道系统，所述通道系统能够通过可封闭的供应口(5)被供给清洗液，在所述衬底块(13A、13B)的锯切期间所述通道系统的底部以槽型方式开放以提供用于所述冲洗液的通道口(15)。