[发明专利]一种三阴极等离子喷涂技术制备Y2O3涂层的方法无效
| 申请号： | 201110396560.X | 申请日： | 2011-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN103132004A | 公开（公告）日： | 2013-06-05 |
| 发明（设计）人： | 王文东;刘邦武;夏洋;李勇滔 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | C23C4/10 | 分类号： | C23C4/10;C23C4/12 |
| 代理公司： | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人： | 刘丽君 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及等离子喷涂技术领域，具体涉及一种三阴极等离子喷涂技术制备Y2O3涂层的方法。所述方法，包括如下步骤：步骤(1)，选择纯度大于99.95％的Y2O3粉末；步骤(2)，对被喷涂的基材表面进行预处理；步骤(3)，通过三阴极等离子喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂，制备出Y2O3涂层。本发明采用三阴极等离子喷涂技术，从三个阴极到同一的阳极产生三个独立的电弧，形成稳定的等离子喷射，使用本发明制备的Y2O3陶瓷涂层十分致密，孔隙率低，涂层应力小，与基体的结合强度高，且具有优异的耐刻蚀性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阴极 等离子 喷涂 技术 制备 sub 涂层 方法 | ||
【主权项】：
一种三阴极等离子喷涂技术制备Y2O3涂层的方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤(1)，选择纯度大于99.95％的Y2O3粉末；步骤(2)，对被喷涂的基材表面进行预处理；步骤(3)，通过三阴极等离子喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂，制备出Y2O3涂层。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C4-00 熔融态覆层材料喷镀法，例如火焰喷镀法、等离子喷镀法或放电喷镀法的镀覆
C23C4-02 .待镀材料的预处理，例如为了在选定的表面区域镀覆
C23C4-04 .以镀覆材料为特征的
C23C4-12 .以喷镀方法为特征的
C23C4-18 .后处理
C23C4-14 ..用于长形材料的镀覆
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