[发明专利]一种磁悬浮分子泵动平衡方法

摘要

一种磁悬浮分子泵动平衡方法，在启动磁悬浮分子泵电机后，开启力控制不平衡振动控制模块，如果在力控制不平衡振动控制模块的控制下，转子上的不平衡质量使转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么不平衡振动控制模块能抑制转子的同频振动，使转子转速能够很快超过其刚性临界转速，从而在较高速度下对磁悬浮分子泵的转子进行动平衡操作。本发明的动平衡方法，可直接在高速下对磁悬浮分子泵的转子进行动平衡操作，步骤简单、效率高。

主权项

一种磁悬浮分子泵动平衡方法，其特征在于：包括①启动所述磁悬浮分子泵的电机(8)开始升速，开启磁悬浮分子泵控制器(2)中的力控制不平衡振动控制模块，由所述磁悬浮分子泵控制器(2)控制位移检测装置(18)采集所述磁悬浮分子泵转子的径向位移信号，检测所述转子的径向振幅，如果在所述力控制不平衡振动控制模块的控制下，所述转子上的不平衡质量使所述转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么所述力控制不平衡振动控制模块能够抑制所述转子的同频振动，使转子转速超过其刚性临界转速，顺序执行步骤②；②所述电机(8)继续加速，由所述位移检测装置(18)检测所述转子的径向振动情况，当所述转子的径向振动幅值超过预设非额定转速振幅时，停止所述电机(8)加速，使转速稳定在该转速ωi(i＝0，1，2......)处；由所述磁悬浮分子泵控制器(2)控制转速检测装置(19)或动平衡机检测此时的转速ωi；判断转速ωi是否小于转子额定转速ωE，如果ωi小于ωE则按顺序执行步骤③，否则执行步骤⑤；③在所述力控制不平衡振动控制模块的控制下，利用所述动平衡机进行转子转速为非额定转速的动平衡操作，使转子转速从零升至ωi过程中以及转子转速为ωi时，所述转子的径向振动幅值都小于预设非额定转速振幅，之后按顺序执行步骤④；④令i＝i+1，重复步骤②；⑤在所述力控制不平衡振动控制模块的控制下，利用所述动平衡机进行转子转速为额定转速动平衡操作，使转子转速从零升至ωE过程中，所述转子的径向振动幅值都小于预设非额定转速振幅；并且使转子转速为ωE时，所述转子的径向振动幅值小于预设额定转速振幅且所述转子残余的不平衡质量小于预设不平衡质量，至此整个动平衡过程完成。