[发明专利]一种通用型OLED基片样品架无效
申请号: | 201110401733.2 | 申请日: | 2011-12-07 |
公开(公告)号: | CN103147058A | 公开(公告)日: | 2013-06-12 |
发明(设计)人: | 李诺;刘畅;余峰 | 申请(专利权)人: | 上海广电电子股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/24 |
代理公司: | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人: | 吴宝根 |
地址: | 201204 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种通用型OLED基片样品架,一对外形对称的长方体支架臂分别固定在基座上,基座的距离与放置的基片配套,在对称的长方体支架臂相对的一侧,开有一对对称的矩形凹槽和一对对称的圆弧形凹槽,对称的矩形凹槽和对称的圆弧形凹槽分别形成容纳两种基片的大矩形凹槽和正圆形凹槽,矩形凹槽和圆弧形凹槽的深度均大于所装基片厚度,由对称的圆弧形凹槽形成的正圆形直径大于由对称的矩形凹槽所形成的大矩形凹槽的宽度,而且大矩形凹槽的对角线长度大于正圆形凹槽的直径。该通用样品架兼容形玻璃基板和硅基基板的尺寸。从而避免了制备和更新样品架带来的物料与时间损失,并且使得更换样品架导致的腔内真空度破坏和意外的机械结构损耗得以避免。 | ||
搜索关键词: | 一种 通用型 oled 样品 | ||
【主权项】:
一种通用型OLED基片样品架,包括一对外形对称的长方体支架臂,一对支架臂分别固定在基座上,基座的距离与放置的基片配套,其特征在于,在对称的长方体支架臂相对的一侧,开有一对对称的矩形凹槽和一对对称的圆弧形凹槽,对称的矩形凹槽和对称的圆弧形凹槽分别形成容纳两种基片的大矩形凹槽和正圆形凹槽,支架臂上的矩形凹槽和圆弧形凹槽的深度均小于支架臂厚度的2/3,矩形凹槽和圆弧形凹槽的深度均大于所装基片厚度,由对称的圆弧形凹槽形成的正圆形直径大于由对称的矩形凹槽所形成的大矩形凹槽的宽度,而且大矩形凹槽的对角线长度大于正圆形凹槽的直径。
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