[发明专利]阀门控制系统及其方法有效
| 申请号： | 201110402270.1 | 申请日： | 2011-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN103148255A | 公开（公告）日： | 2013-06-12 |
| 发明（设计）人： | 马鸿健;赵福彬 | 申请（专利权）人： | 无锡华瑛微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | F16K31/04 | 分类号： | F16K31/04;F16K37/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 无锡互维知识产权代理有限公司 32236 | 代理人： | 王爱伟 |
| 地址： | 214135 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种阀门控制系统，其包括可以控制阀门转动的步进电机以及控制步进电机的步进电机控制器，其中步进电机控制器包括中央处理器、与中央处理器通过串行总线连接的步进电机驱动单元、PC控制单元、PLC控制单元以及报警信息模块；PLC控制单元可以与PLC计算机连接，由PLC计算机对阀门进行控制；PC控制单元可以与个人电脑连接，由个人电脑对阀门进行控制。本发明的阀门控制系统，能有两种控制方式，而且可以控制多个阀门，集成度高。 | ||
| 搜索关键词： | 阀门 控制系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种阀门控制系统，其用于控制半导体设备中向半导体处理腔室中输送处理流体的阀门，所述控制系统包括可以控制阀门转动的步进电机以及控制步进电机的步进电机控制器，其中所述步进电机控制器包括中央处理器，用于处理步进电机的控制数据；与中央处理器通过串行总线连接的电机驱动单元，用于根据中央处理器的指令，控制所述步进电机的转动；PLC控制单元，用于连接外部PLC计算机与所述中央处理器，使所述外部PLC计算机与所述中央处理器之间进行数据交换，由所述外部PLC计算机对所述步进电机进行控制；PC控制单元，用于连接外部PC计算机与所述中央处理器，使所述外部PC计算机与所述中央处理器之间进行数据交换，由所述外部PC计算机对所述步进电机进行控制。
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