[发明专利]聚焦环组合、IMP溅射设备有效
| 申请号： | 201110403783.4 | 申请日： | 2011-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN102437003A | 公开（公告）日： | 2012-05-02 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;汪涛 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种聚焦环组合，包括：聚焦环，所述聚焦环上设有通孔；安装钉，所述安装钉包括柱体及膨大的背部，所述背部贴附在所述聚焦环的内表面，所述柱体通过所述通孔延伸出所述聚焦环的外表面，所述柱体的内部设有螺纹孔；其中，所述安装钉的背部厚度大于1.53mm。本发明还提供了与上述聚焦环组合相对应的IMP溅射设备。本发明的聚焦环组合、聚焦环和IMP溅射设备将或适于将安装钉的背部加厚，即增加了背部在溅射中被消耗掉的时间，这样也就增加了聚焦环的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 聚焦 组合 imp 溅射 设备 | ||
【主权项】：
一种聚焦环组合，其特征在于，包括：聚焦环，所述聚焦环上设有通孔；安装钉，所述安装钉包括柱体及膨大的背部，所述背部贴附在所述聚焦环的内表面，所述柱体通过所述通孔延伸出所述聚焦环的外表面，所述柱体的内部设有螺纹孔；其中，所述安装钉的背部厚度大于1.53mm。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料有限公司，未经宁波江丰电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110403783.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种同时检测水中多种微囊藻毒素的方法
- 下一篇：牙科修复系统及其方法
