[发明专利]聚焦环、聚焦环组合、IMP溅射设备无效
| 申请号： | 201110403786.8 | 申请日： | 2011-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN102418076A | 公开（公告）日： | 2012-04-18 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;汪涛 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种聚焦环组合，包括：聚焦环，所述聚焦环上有通孔，且其内表面在通孔处形成有凹槽；安装钉，所述安装钉包括柱体与膨大的背部，所述背部贴附在所述聚焦环的内表面，所述柱体通过所述通孔延伸出所述聚焦环的外表面，所述背部嵌入所述凹槽，所述柱体的内部设有螺纹孔。本发明还提供了与上述聚焦环组合相对应的聚焦环与IMP溅射设备。本发明的聚焦环组合、聚焦环和IMP溅射设备将或适于将安装钉的背部嵌入聚焦环在通孔位置的内表面上设置的一凹槽，不会出现安装钉的背部因参与溅射而被消耗掉，最终不能起到固定聚焦环的作用，使得聚焦环也无法继续使用的问题，这样也就增加了聚焦环的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 聚焦 组合 imp 溅射 设备 | ||
【主权项】：
一种聚焦环组合，其特征在于，包括：聚焦环，所述聚焦环上有通孔，且其内表面在通孔处形成有凹槽；安装钉，所述安装钉包括柱体与膨大的背部，所述背部贴附在所述聚焦环的内表面，所述柱体通过所述通孔延伸出所述聚焦环的外表面，所述背部嵌入所述凹槽，所述柱体的内部设有螺纹孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波江丰电子材料有限公司，未经宁波江丰电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201110403786.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电连接器和电连接器壳体
- 下一篇：立体图像中的对象跟踪和强调
- 同类专利
- 专利分类
