[发明专利]多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理方法及装置有效
| 申请号： | 201110405319.9 | 申请日： | 2011-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN102515183A | 公开（公告）日： | 2012-06-27 |
| 发明（设计）人： | 杨晓凯;叶杰;王翔;何向阳 | 申请（专利权）人： | 飞潮（无锡）过滤技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/18 | 分类号： | C01B33/18;C01B7/03 |
| 代理公司： | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人： | 曹祖良 |
| 地址： | 214101 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理方法及装置。本发明的方法是：氯硅烷液体被送入管式过滤器进行过滤，被拦截下来的固体杂质排入密闭式排渣罐，向排渣罐内通入空气并加热排渣罐，使排渣罐内的固体杂质发生化学反应生成二氧化硅粉末及氯化氢气体。本发明的装置包括带有液体入口、液体出口及排渣口的管式过滤器，排渣口位于管式过滤器的底部，排渣口与位于管式过滤器下方的排渣罐相连通，排渣罐上设有空气入口、气体出口及固定排放口，固定排放口位于排渣罐的底部，排渣罐外设置有辅助加热系统。本发明通过管式过滤器对氯硅烷液体进行过滤，对被过滤拦截的固体杂质进行无害化处理，达到了过滤效率高、环保、安全、稳定运行的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 生产 中的 硅烷 液体 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅生产中的氯硅烷液体的处理方法，其特征是：氯硅烷液体被送入管式过滤器进行过滤，过滤后的氯硅烷液体进入多晶硅生产的后续工序，被管式过滤器拦截下来的固体杂质排入密闭式排渣罐，向排渣罐内通入适量空气并加热排渣罐，使排渣罐内的固体杂质发生化学反应生成二氧化硅粉末及氯化氢气体。
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